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针对传统的用于航空发动机的电涡流式高温转速传感器由于材料本身的限制,不能用于高温环境测量的问题,采用流延共烧结工艺制备了高温转速传感器。实验结果证明:采用该工艺制备的高温传感器能够使电涡流转速传感器在1 200℃下,测量精度保持在1%以内。
流延共烧结制备高温转速传感器研究
【摘 要】
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针对传统的用于航空发动机的电涡流式高温转速传感器由于材料本身的限制,不能用于高温环境测量的问题,采用流延共烧结工艺制备了高温转速传感器。实验结果证明:采用该工艺制备的高温传感器能够使电涡流转速传感器在1 200℃下,测量精度保持在1%以内。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十九研究所
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2020年01期
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