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为了获得满足光学应用要求的碳化硅光学镜面，通常采取碳化硅表面改性和改进光学镜面加工的方法．碳化硅表面改性的主要方式是在碳化硅表面镀致密化涂层．本文介绍了在碳化硅表面化学气相沉积碳化硅和物理气相沉积硅两种碳化硅表面改性技术，并对碳化硅光学镜面加工的研究现状进行了综述．
碳化硅表面改性和光学镜面加工的研究现状
【摘 要】
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为了获得满足光学应用要求的碳化硅光学镜面，通常采取碳化硅表面改性和改进光学镜面加工的方法．碳化硅表面改性的主要方式是在碳化硅表面镀致密化涂层．本文介绍了在碳化硅表面化
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所结构陶瓷工程中心,中国科学院研究生院
【出 处】
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无机材料学报
【发表日期】
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2007年5期
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