LT-1型离子探针质谱微分析仪

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前 言 LT-1型离子探针质谱微分析仪(简称离子探针,本刊今年第2期封面刊登过此仪器外形及部份实验结果的照片)是一种利用离子光学原理制成的一种大型精密科学仪器.它主要应用于表面微区薄层分析,是半导体集成电路、固体物理、表面科学、材料科学、环境科学、地球和空间科学、生 Preface LT-1 ion microprobe mass spectrometer (referred to as ion probe, the second issue of this issue covers the appearance of this instrument and some of the experimental results of this photo) is a use of ion optics made of a Large-scale precision scientific instruments. It is mainly used in surface micro-thin layer analysis, is a semiconductor integrated circuit, solid state physics, surface science, materials science, environmental science, earth and space science, students
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