【摘 要】
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在电阻加热式真空蒸发镀膜过程中,需要通过对蒸发源的温度进行控制从而实现蒸发速率的控制。针对真空镀膜系统中蒸发源的温度变化具有非线性、时变性和滞后性的特点,提出了一种基于Smith预估的变论域模糊自适应PID的改进控制算法。基于改进的差分进化算法辨识真空镀膜温控系统的传递函数,结合变论域模糊自适应PID算法和比例控制构成分段控制模型。最后利用MATLAB进行仿真验证,结果表明,相较于Smith预估控制和模糊自适应PID控制算法,改进后的算法具有调节时间短、超调量几乎为零、无稳态误差等特点,对电阻加热式真空镀
【机 构】
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石家庄铁道大学机械工程学院,石家庄邮电职业技术学院基础教学部
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(11872254)。
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在电阻加热式真空蒸发镀膜过程中,需要通过对蒸发源的温度进行控制从而实现蒸发速率的控制。针对真空镀膜系统中蒸发源的温度变化具有非线性、时变性和滞后性的特点,提出了一种基于Smith预估的变论域模糊自适应PID的改进控制算法。基于改进的差分进化算法辨识真空镀膜温控系统的传递函数,结合变论域模糊自适应PID算法和比例控制构成分段控制模型。最后利用MATLAB进行仿真验证,结果表明,相较于Smith预估控制和模糊自适应PID控制算法,改进后的算法具有调节时间短、超调量几乎为零、无稳态误差等特点,对电阻加热式真空镀
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