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Si(Li)探测器引起的同步辐射X射线荧光（SR-XRF）谱中的逃逸峰，严重干扰利用XRF谱进行的定性和定量分析。对实验中的逃逸峰进行了鉴别。测定了14个样品的从K Kα到As Kα12个元素的标识谱的逃逸峰的强度和峰位。比较了逃逸峰与最近主峰能量差的实验值和标准值，一般误差小于10%。用简化的X射线激发的SiKα分布出射模型，计算元素逃逸峰强和其主峰强的比值，发现随原子序数增加，实验和理论比值都从约1%下降到0.1%左右。