【摘 要】
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日本电气公司最近制成了一种SL411型的新式划片机,它采用钇铝石榴石激光振荡器,把由扩散过程所得到的硅半导体晶片切成薄片或圆片的方法来制作集成电路。由于这种新型装置全
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日本电气公司最近制成了一种SL411型的新式划片机,它采用钇铝石榴石激光振荡器,把由扩散过程所得到的硅半导体晶片切成薄片或圆片的方法来制作集成电路。由于这种新型装置全部采用了日本国内技术,所以引起了人们的注意。这种激光划片机是日本电气公司为发展激
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