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钨灯丝扫描电镜作为常规的大型精密分析仪器,在运行过程中常常会出现一些设备故障。因此需要做好扫描电镜日常的维护工作,延长部件的使用寿命,提升电镜的使用性能。以Tescan公司的Vega3台式扫描电子显微镜为例,主要介绍了该台钨灯丝扫描电镜电子枪系统、真空系统和EDS能谱等部件的保养措施,并介绍了电镜两例常见故障及排查处理方法。