轮廓精度50nm金刚石车刀的研磨加工

来源 :超硬材料工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gift19852003
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探讨研磨加工机与研磨工艺,目的是提高超精密加工用金刚石车刀刀尖半径轮廓的研磨精度。超精密加工机的运动精度正在逐年提高,期待着支撑其加工精度根基的金刚石车刀的轮廓精度能得到改善。根据传统的金刚石加工方法,调查了晶面研磨方向与可加工性的关系,确定了研磨条件。结果,开发出新型研磨加工机,对于刀尖半径3.9μm的金刚石车刀,其轮廓精度48nm在有效角度130°的范围内得到了确认。
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