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文章进行了高重频皮秒激光辐照多晶硅的损伤实验研究,分析了多晶硅材料激光辐照区域的损伤形貌,探究了多晶硅的多脉冲损伤损伤机制。实验结果表明：多晶硅的损伤形貌主要分为热熔区、热影响区及激光无作用区三个区域。多晶硅的多脉冲损伤机制主要是热积累和微缺陷积累。
多晶硅的高重频皮秒脉冲激光损伤研究
【摘 要】
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文章进行了高重频皮秒激光辐照多晶硅的损伤实验研究,分析了多晶硅材料激光辐照区域的损伤形貌,探究了多晶硅的多脉冲损伤损伤机制。实验结果表明：多晶硅的损伤形貌主要分为热
【机 构】
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长春理工大学
【出 处】
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科技创新与应用
【发表日期】
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2016年34期
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