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利用聚合物／Si02混合材料脊形波导结构以及化学气相沉积（CVD）、涂膜和湿法刻蚀等工艺，设计并制备了一种低功耗马赫一曾德尔干涉（MzI）热光开关。测试了波导芯层和包覆层材料的色散特性，模拟分析了器件的输出功率和光谱性能。以可调谐激光器作为光源，实验测试了所制备器件的开关、响应和光谱特性。在1550nm中心波长下，器件的开关功耗约为7．8mw，0N与OFF状态间的消光比达32．6dB。在纯净方波驱动电压信号（峰峰值为3V作用下，测得器件的上升和下降时间分别为107和71。保持器件在1550nm波长下的驱动