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非掺杂半绝缘LEC GaAs中电参数与碳浓度及EL2浓度的关系
非掺杂半绝缘LEC GaAs中电参数与碳浓度及EL2浓度的关系
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chubiao5201314
【摘 要】
:
利用范德堡方法和光吸收方法研究了非掺杂半绝缘(SI)LEC GaAs中电参数与碳(C)浓度及EL2浓度的关系。通过比较实验结果和理论计算结果发现,这种半绝缘晶体中除C外还存在其它受主在电补偿中起重要
【作 者】
:
杨瑞霞
李光平
【机 构】
:
河北工业大学电子系,天津电子材料研究所
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
1999年4期
【关键词】
:
砷化镓
碳
EL2
电参数
掺杂
半导体材料
GaAsCarbonEL2ElectricalProperties
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利用范德堡方法和光吸收方法研究了非掺杂半绝缘(SI)LEC GaAs中电参数与碳(C)浓度及EL2浓度的关系。通过比较实验结果和理论计算结果发现,这种半绝缘晶体中除C外还存在其它受主在电补偿中起重要作用。
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