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介绍痕量水分标准装置的研究进展。目前已有多种成熟的检测高纯气体中痕量水分的仪器，而对于这些检测仪器的校准则需要能稳定发生痕量水分的标准装置。对国际上已有的痕量水分发生标准装置的原理和相关研究进行介绍和总结，并分析了国内相关领域的现状，为我国气体痕量水分标准发生装置的研究提供参考。
痕量水分标准装置研究进展
【摘 要】
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介绍痕量水分标准装置的研究进展。目前已有多种成熟的检测高纯气体中痕量水分的仪器，而对于这些检测仪器的校准则需要能稳定发生痕量水分的标准装置。对国际上已有的痕量水分
【机 构】
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中国计量科学研究院
【出 处】
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化学分析计量
【发表日期】
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2017年5期
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