激光扫描共聚焦显微镜在形状测量上的应用研究

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主要介绍了激光扫描共聚焦显微镜(laser scanning confocal microscopy,LSCM)的原理和构造,并从LSCM的测量原理出发,分析了其相对于光学显微镜、粗糙度仪、扫描电镜等传统设备在形状检测上的优势,如可进行非接触测量,简单快速,可测量各种目标物,可以实现三维(3D)和粗糙度的测量等。通过检索文献发现,激光共聚焦扫描显微镜的应用领域主要在形态学、分子细胞生物学、环境科学和病理学等领域,关于课题组所研究方向一般检测形状上的文献尚未发现,因此最后探讨了LSCM在印刷电路板、显示行业
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