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微小孔加工时的放电间隙较小，排屑、消电离状态差，放电效率低，直接影响加工效率和电极损耗；超声振动可改善排屑、消电离状态，能提高放电效率。将超声引入微细电火花加工，通过工件的超声振动．进行超声功率、小孔孔径、脉冲频率的微小孔电火花加工工艺试验研究，结果表明：加工不同孔径时，超声功率及电源频率都存在一个最佳值；加工条件合适时，超声复合微细电火花加工优于常规微细电火花加工。