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采用溶胶-凝胶（Sol-Gel）法，通过快速热处理，在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备出Pb（Zr，Ti）O3成分梯度薄膜。经俄歇微探针能谱仪（AES）对制备的上梯度薄膜进行了成分深度分析，结果证实其成分梯度的存在。经XRD分析表明，制备的梯度薄膜为四方结构和三方结构的复合结构，但其晶面存在一定的结构畸变。经介电温谱测试表明，随着温度的升高，梯度薄膜出现一个铁电-铁电相变点和两个居里点，同时出现一定的频率弥散现象。经ε-V特性曲线测试表明，梯度薄膜的介电常数-电压（ε-V）及介质损耗-电压（tan δ