SAW和BAW滤波器的对比

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在这篇文章中,通过讨论体声波(BAW)滤波器和声表面波(SAW)射频滤波器的结构、工作原理,以及它们之间的区别,对BAW滤波器技术做出了一个概述,相对与SAW滤波器来说,BAW滤波器性能更好一些,q值高、相位噪声少、体积小等,但是加工起来相对较难。加工难的原因主要包括压电薄膜沉积难达到,晶圆级频率和层厚度修整难。本文在最后对未来的BAW滤波器技术的改进方面提出了一些建议。未来的BAW滤波器技术具有很大的研究价值和研究空间。
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