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阐述了多晶硅生产废气主要来源、组分、处理工艺及研究进展,提出了生产高品质多晶硅可选择的废气处理工艺。
多晶硅生产废气回收处理工艺研究进展
【摘 要】
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阐述了多晶硅生产废气主要来源、组分、处理工艺及研究进展,提出了生产高品质多晶硅可选择的废气处理工艺。
【机 构】
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昆明冶研新材料股份有限公司、云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室
【出 处】
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云南化工
【发表日期】
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2017年5期
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