透平式分子真空泵工作轮的抽气速率及压缩比

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本文研究了透平式分子真空泵工作轮特性的理论计算。导出了具有铣槽的和叶片的工作轮的最大抽气速率及其所能建立的压缩比的计算公式。并对理论特性和实验做了比较。 透平式分子真空泵在各种真空技术部门得到很大的推广。它不同于其他型式的高真空泵,在运转上既安全又可靠,不必 This paper studies the theoretical calculation of the working-wheel characteristics of a turbo-molecular vacuum pump. The formula for calculating the maximum pumping rate of the milling wheel and the blade working wheel and the compression ratio that can be set up is derived. The theoretical characteristics and experiments are compared. Turbomolecular vacuum pump in a variety of vacuum technology department has been greatly promoted. Unlike other types of high vacuum pumps, it is safe and reliable in operation, not necessary
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