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在光掩膜工业中,铬合金已经令人满意地被使用了几十年,它可能渐渐被一种更好的合金硅化钼（MoSi）所取代。
铬合金正重蹈渡渡鸟的覆辙？
【摘 要】
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在光掩膜工业中,铬合金已经令人满意地被使用了几十年,它可能渐渐被一种更好的合金硅化钼（MoSi）所取代。
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2008年11期
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