【摘 要】
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电弧离子镀所制备薄膜中的大颗粒(MPs)缺陷是当前研究热点之一,本文利用尘埃等离子体理论,以Ti大颗粒为研究对象,对Ti大颗粒尺寸与其传输过程中的速度和能量变化进行了计算,解释了大颗粒在薄膜表面形貌变化的主要原因.在电弧等离子体传输过程中,在不同的工作距离下离子和电子的密度发生改变,大颗粒受到等离子体中离子和电子的碰撞,传输速度和能量发生变化,使得大颗粒在到达基体表面时保持半固态和液态.与基体表面发生碰撞后,大颗粒的形貌呈现扁平的椭圆形和长条形.
【机 构】
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郑州航空工业管理学院航空宇航学院,河南 郑州 450046
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电弧离子镀所制备薄膜中的大颗粒(MPs)缺陷是当前研究热点之一,本文利用尘埃等离子体理论,以Ti大颗粒为研究对象,对Ti大颗粒尺寸与其传输过程中的速度和能量变化进行了计算,解释了大颗粒在薄膜表面形貌变化的主要原因.在电弧等离子体传输过程中,在不同的工作距离下离子和电子的密度发生改变,大颗粒受到等离子体中离子和电子的碰撞,传输速度和能量发生变化,使得大颗粒在到达基体表面时保持半固态和液态.与基体表面发生碰撞后,大颗粒的形貌呈现扁平的椭圆形和长条形.
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