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随着功率双极集成电路在军民两用的各种电源管理、功率驱动等领域的广泛应用，以及集成电路生产规模的进一步扩大，对参数一致性、重复性、均匀性的要求越来越高；文章重点介绍功率器件硼基区注入工艺，对工艺原理和工艺方案进行了详细阐述；并给出了工艺结果以及在产品中的应用情况。
功率器件硼基区注入工艺研究
【摘 要】
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随着功率双极集成电路在军民两用的各种电源管理、功率驱动等领域的广泛应用，以及集成电路生产规模的进一步扩大，对参数一致性、重复性、均匀性的要求越来越高；文章重点介绍功率
【机 构】
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模拟集成电路国家重点实验室、中国电子科技集团公司第二十四研究所
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2007年1期
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