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对垂直多腔F-P规整膜系进行了结构上的划分，以反射膜系、腔层、耦合层为单位将膜系划分为若干个结构单元，利用史密斯方法将结构分为A、B两个系统。改变内膜系单元参数，得到了两腔F-P结构A、B系统反射率变化规律；改变A、B反射率的曲线交点和相位正弦值零点的位置，分析了透射曲线平顶响应的形成原因，得到了影响平顶响应薄膜滤波器性能参数的因素。得出透射性能良好的三半波膜系结构。其0．5dB带宽为0．52nm，3dB带宽为0．67nm，25dB带宽为1．59nm，矩形度为2．37（小于3）。