论文部分内容阅读
<正> 随着航天、航空、计算机、通讯及电子工业的发展,对现代仪器仪表提出了许多新的挑战,对仪器零件制造工艺技术的要求也愈来愈高,许多零件的精度都在微米、亚微米级,甚至更高。如惯性导航仪表中的液浮陀螺球的球度为0.2～0.6μm;激光陀螺的金属平面反射镜平面度为0.03～0.06μm,表面粗糙度小于0.01μm,反射率要求大于99.8%;光学录象磁盘表面微槽的槽宽为1μm,公差为±0.1μm 等。上述高精度的零