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热处理是改变氧化膜的柔韧性的有效方法。探讨了热处理的时间、温度、电解液的成分等对膜柔韧性的影响,结果表明：电解液成分是影响氧化膜的柔韧性的主要因素。对于磷酸氧化膜,随着热处理温度的升高,保温时间延长,氧化膜的柔韧性升高后趋于平稳,温度过高时,氧化膜的表面会出现烧损现象。最佳的热处理条件是400℃,时间10 min。热处理对硫酸和草酸介质中的氧化膜的柔韧性有不良影响,热处理后的磷酸多孔氧化膜的抗腐蚀性远强于未热处理的氧化膜的抗腐蚀性。