α—C：F薄膜的键合结构与电子极化研究

来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：deshan123

【摘要】

：

利用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积技术,通过改变微波输入功率的方法,沉积了具有不同结构特征的氟化非晶碳(α-C:F)薄膜.随着微波功率从M0w升高到560w,薄膜的光频介

【作者】

：

叶超康健宁兆元程珊华辛煜方亮陆新华项苏留

【机构】

：

苏州大学理学院物理系,江苏大学化学化工系,江苏大学分析测试中心

【出处】

：

功能材料

【发表日期】

：

2001年5期

【关键词】

：

α-C:F薄膜键结构电子极化氟化非晶碳膜 Amorphous materialsBondingCarbonElectronsFluorine compou

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

利用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积技术,通过改变微波输入功率的方法,沉积了具有不同结构特征的氟化非晶碳(α-C:F)薄膜.随着微波功率从M0w升高到560w,薄膜的光频介电常数从2.26降至1.68,红外光谱(FTIR)分析表明薄膜的键结构由以CF基团为主变化到CF与cF2基团共存.由于CF2基团的极化比CF基团弱,薄膜中CF2基团的增加可能是导致光频介电常数减小的因素.

其他文献

新型应用型本科院校财务管理专业实践教学体系模式的研究

ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技

期刊

财务管理平台+模块实践教学体系人才培养

低聚果糖治疗功能性便秘的临床疗效分析

目的分析使用低聚果糖治疗功能性便秘的效果。方法以作者门诊2018年5月~2019年5月收治的功能性便秘患者64例为实验观察者,予以口服低聚果糖的治疗方案,对治疗前后其便秘症状

期刊

低聚果糖功能性便秘便秘症状

以岗位需求为导向的护理人员分层次培训的实践与思考

目的探讨以岗位需求为导向的护理人员分层次培训的实践效果。方法选取578例护理人员为研究对象,通过新护士岗前培训、规范化培训等方式,开展N1~N5级护士培训,探讨开展后护理

期刊

岗位需求分层培训规范化培训培训思考

一种实用的坐标转换方法研究

针对自行武器上已装备的GIS、GPS和INS系统存在坐标系统不统一,且无转换参数的问题。本文利用GIS、GPS和INS各自的特点,提出获得多个检测点分别在北京54坐标系和WGS-84坐标系

期刊

坐标转换WGS-84坐标系北京54坐标系转换模型

α—C：F薄膜的键合结构与电子极化研究

其他学术论文