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大口径溶胶-凝胶光学膜层提拉制备工艺控制
大口径溶胶-凝胶光学膜层提拉制备工艺控制
来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:msdlzs
【摘 要】
:
大口径溶胶-凝胶化学膜的光学性能指标主要由膜层厚度和折射率决定,提拉法制备工艺的关键技术就是对这两个参数进行精确控制。通过优化胶体制备工艺,并利用椭圆偏振法测量化
【作 者】
:
王韬
吕海兵
严鸿维
袁晓东
【机 构】
:
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
2018年A01期
【关键词】
:
化学膜
膜厚
折射率
提拉镀膜
chemical films
thickness of the films
refractive index
dip-coati
【基金项目】
:
国家自然科学基金(61405180)
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大口径溶胶-凝胶化学膜的光学性能指标主要由膜层厚度和折射率决定,提拉法制备工艺的关键技术就是对这两个参数进行精确控制。通过优化胶体制备工艺,并利用椭圆偏振法测量化学膜膜厚及折射率变化情况,获得了提拉速度模型,并进行了实验验证,为大口径化学膜高性能指标提供了技术和工艺保证。
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