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采用深度光刻与电铸技术相结合的方法,较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题.在此基础上,利用优化的微细电火花加工工艺,实现了大面积微细结构的精细制造.
大面积微细结构的电火花加工
【摘 要】
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采用深度光刻与电铸技术相结合的方法,较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题.在此基础上,利用优化的微细电火花加工工艺,实现了大面积微细结构的精细制造.
【机 构】
：
中国科学院北京市机电研究院,张院春,邹丽芸;
【出 处】
：
航空制造技术
【发表日期】
：
2004年期
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期刊
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