【摘 要】
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采用磁控共溅射沉积法,以氧化锌和硫化锌为靶材,在不同衬底温度下制备了Zn（O,S）薄膜。采用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外-可见-近红外分光光度计、霍尔测试仪和拉曼光谱测试
【机 构】
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云南师范大学可再生能源材料先进技术与制备教育部重点实验室,云南师范大学太阳能研究所,美国托莱多大学物理与天文系
【基金项目】
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国家自然科学基金(U1037604)
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采用磁控共溅射沉积法,以氧化锌和硫化锌为靶材,在不同衬底温度下制备了Zn（O,S）薄膜。采用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外-可见-近红外分光光度计、霍尔测试仪和拉曼光谱测试仪对Zn（O,S）薄膜进行了结构和光电特性研究。结果表明：Zn（O,S）薄膜具有六方纤锌矿结构,属于二模混晶;在可见-近红外波段的吸收率小于5%;其为N型半导体,电学特性随衬底温度的变化而变化;衬底温度为200℃时制备的厚度为167 nm的Zn（O,S）薄膜的载流子浓度达到8.82×10^19cm^-3,迁移率为19.3 c
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