127°圆柱形能量分析器—CDA的研制

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本文对低能离子散射谱仪的能量分析器进行了研究,设计和制做了127°园柱形能量分析器—CDA用计算机辅助设计与计算了减速透镜。测试结果表明该CDA的结构合理,在入口缝宽W=3mm的情况下,分辨率达到了6.2%。 In this paper, the energy analyzer of low energy ion scattering spectrometer has been studied, and a 127 ° cylindrical energy analyzer has been designed and manufactured. Computer-aided design and calculation of deceleration lens are used in CDA. The test results show that the structure of the CDA is reasonable, with a resolution of 6.2% with an entrance slit width W = 3 mm.
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