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影响真空镀膜质量高低的因素多种多样,而真空镀膜稳定性与均匀性也会直接受镀膜工艺等因素的直接影响.本文将以真空蒸发镀膜和PECVD法为例,分析影响真空镀膜稳定性与均匀性的主要因素,期望能对今后相关研究和提高实际操作中的真空镀膜质量有所帮助和借鉴意义.
浅析真空镀膜稳定性与均匀性
【摘 要】
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影响真空镀膜质量高低的因素多种多样,而真空镀膜稳定性与均匀性也会直接受镀膜工艺等因素的直接影响.本文将以真空蒸发镀膜和PECVD法为例,分析影响真空镀膜稳定性与均匀性的
【机 构】
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淮海工学院,中国科学技术大学
【出 处】
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中国机械
【发表日期】
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2020年2期
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