提高氦质谱检漏仪检漏压力的研究

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从讨论逆扩散型氦质谱检漏仪检漏压力出发,提出一种可以提高检漏压力的方法,并通过实验分析这种高压下的检漏范围、仪器本底、信号响应与清除时间,以及这种高压下检漏需要注意的问题。
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