【摘 要】
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在MEMS领域中,可活动的构件,如悬臂梁、桥和链等,由于不可避免的工艺因素,会影响其内部残余应力、泊松比等机械参数,在构件释放时,容易产生应变,从而使构件变形.针对悬臂梁式
【基金项目】
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北京市优秀人才培养专项经费资助项目(20042D0500202)
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在MEMS领域中,可活动的构件,如悬臂梁、桥和链等,由于不可避免的工艺因素,会影响其内部残余应力、泊松比等机械参数,在构件释放时,容易产生应变,从而使构件变形.针对悬臂梁式MEMS谐振器件所对应谐振频率的特点,结合聚焦离子束写入技术,对失效的构件进行修补,在一定的写入条件下,能够使构件恢复预计的频率,正常进行工作.对修复后的构件的可靠性寿命进行了测试,发现聚焦离子束写入技术对构件的可靠性寿命并没有明显的影响.
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