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本文利用ANSYS（有限元分析软件）,对微振动-声多功能传感器的封装关键部件—减振橡胶和芯片粘合体进行实体建模和计算机模拟（模态分析、静态和瞬态分析）。通过模拟结果确定空心模型最佳尺寸。
声—振动多功能传感器减振封装研究
【摘 要】
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本文利用ANSYS（有限元分析软件）,对微振动-声多功能传感器的封装关键部件—减振橡胶和芯片粘合体进行实体建模和计算机模拟（模态分析、静态和瞬态分析）。通过模拟结果确定空心模
【机 构】
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天津现代职业技术学院,中国电子科技集团公司第46研究所,哈尔滨理工大学应用科学学院,哈尔滨工业大学MEMS中心
【出 处】
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河南科技
【发表日期】
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2013年9期
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