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介绍了增黏剂（HMDS）的物化性质及其在光刻工艺中的作用，并且通过实验研究将增黏剂应用于锑化铟材料的光刻工艺，改善了锑化铟的表面状态，增强了锑化铟衬底与光刻胶的黏附性，进而在湿法腐蚀等后续工艺中提高了光刻胶的抗腐蚀性。
增黏剂(HMDS)在锑化铟光刻工艺中的应用
【摘 要】
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介绍了增黏剂（HMDS）的物化性质及其在光刻工艺中的作用，并且通过实验研究将增黏剂应用于锑化铟材料的光刻工艺，改善了锑化铟的表面状态，增强了锑化铟衬底与光刻胶的黏附性，进而在湿
【机 构】
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华北光电技术研究所
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2008年8期
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