多维微驱动器纳米定位系统的研究

来源 :信息与控制 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zouyuefu

【摘要】

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本文论述了在有多维微驱动器定位系统中,应用PID和FUZZY联合控制的方式解决定位中存在的速度调节与系统振荡的矛盾;应用坐标变换方式解决多维定位系统中的干涉现象 ;以及在实

【作者】

：

刘红忠丁玉成李涤尘卢秉恒李寒松

【机构】

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西安交通大学先进制造技术研究所

【出处】

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信息与控制

【发表日期】

：

2002年5期

【关键词】

：

集成电路制造工艺软刻蚀工艺多维微驱动器纳米定位系统 multi-dimensional submicro-actuator PID and FUZZY

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本文论述了在有多维微驱动器定位系统中,应用PID和FUZZY联合控制的方式解决定位中存在的速度调节与系统振荡的矛盾;应用坐标变换方式解决多维定位系统中的干涉现象 ;以及在实际系统中,采用直线电机与微驱动器联合驱动的硬件构架,并配以上述控制策略 ,对定位系统进行粗定位和微定位,最终实现大范围和高精度的定位系统.

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