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引入了一种利用空间光调制器DMD设计编码掩模的新方法，将编码掩模与DMD结合起来，充分发挥DMD（Digital Micromirror Device，简称DMD）的实时性、灵活性以及易于对准的优点．还可以实现对投影曝光过程中的非线性因素引起的预畸变进行预校正．
基于DMD的数字灰阶编码掩模的设计
【摘 要】
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引入了一种利用空间光调制器DMD设计编码掩模的新方法，将编码掩模与DMD结合起来，充分发挥DMD（Digital Micromirror Device，简称DMD）的实时性、灵活性以及易于对准的优点．还可以实现
【机 构】
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南昌航空大学,无损检测技术教育部重点实验室
【出 处】
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光电技术应用
【发表日期】
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2007年4期
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