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对氦质检漏系统的探测部分进行改进,可使其检漏灵敏度提高数十倍。数个检出漏率在1×10<sup>-15</sup>atmccHe/s的超灵敏检漏系统已作为常规检漏装置,较好地应用于对红外或像传感器的杜瓦瓶的质量控制以及对测试样件在超高真空（UHV）工作性能的分析。而对氦质检漏系统的其它部分进行改进,就可以实现对元器件粗漏和微漏的一次性检测,大至0.25cc容积器件上0.015in直径的漏洞,小到1×10<sup>-12</sup>atmcc