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本文在数值分析和实验数据的基础上，提出了用单色光高频光电导衰减法测量硅单晶少子寿命的表面复合修正公式。
单色光光电导衰减法测试硅单晶少子寿命的表面复合修正公式
【摘 要】
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本文在数值分析和实验数据的基础上，提出了用单色光高频光电导衰减法测量硅单晶少子寿命的表面复合修正公式。
【机 构】
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浙江大学硅材料国家重点实验室,峨嵋半导体材料研究所
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1995年02期
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