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由于压电驱动器的迟滞现象会使微操作平台出现非线性问题,严重影响了其运动精度和重复定位精度.为了解决该问题,提出一种前馈补偿同反馈调节相结合的复合控制算法.联合离散Preisach模型与支持向量机建立反映平台迟滞现象的理论模型,基于该模型采用迭代搜索方法得到离散Preisach逆模型,根据该逆模型对平台进行前馈补偿.反馈调节采用比例-积分-微分（propotion-integral-derivative,简称PID）控制,以校正前馈补偿无法消除的偏差及由模型不确定性所引起的误差.为了说明所提出的控制方法的可