论文部分内容阅读
用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法制备了不同工艺条件下的含氟碳膜.测量了薄膜的厚度和介电常数,并用傅立叶红外光谱分析了薄膜化学结构,发现薄膜成分和介电性与沉积工艺密切相关,对薄膜的SEM分析表明所得薄膜均匀致密.控制适当的工艺条件,可沉积理想的超大规模集成电路(VLSI)用钝化膜.
VLSI用低介电常数含氟碳膜研究
【摘 要】
：
用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法制备了不同工艺条件下的含氟碳膜.测量了薄膜的厚度和介电常数,并用傅立叶红外光谱分析了薄膜化学结构,发现薄膜成分和介电性与沉积工艺
【机 构】
：
中南大学物理科学与技术学院
【出 处】
：
电子元件与材料
【发表日期】
：
2003年1期
其他文献
<正>【人物简介】郭红艳,女,1980年出生,本科学历,2000年至今任教于建湖县特殊教育学校,先后获得盐城市劳动模范、盐城最美教师、盐城市教学能手、盐城好人、盐城市优秀党员
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
会议
科氏质量流量计（CMF）是一种通过检测流过流体的科氏效应来直接测量质量流量的流量计。CMF在原理上消除了温度、压力、流体状态、密度等变化对测量精度的影响,可以适应气体、液
明清时期来华的西方传教士在西学中译过程中进行了大量汉语词汇的译创工作。明末的耶稣会士打下了词汇翻译的基础,清末的来华传教士则把这一工作推向新的高度。通过回顾传教
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
现如今,人们逐渐认识到中国学生英语写作的现状并不尽如人意。其问题之一是学生所犯的低级语法错误阻碍了其语言能力的发展,从而制约了进一步的语言学习。在这篇论文中,以中
背景:椎弓根螺钉内固定是修复骨质疏松性骨折常用的手法,通过内固定治疗可以有效重建椎体高度,恢复生理曲度,维持良好的脊柱稳定性。目的:探讨微创经皮椎弓根螺钉Sextant内固
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
用sol-gel法粉体技术和化学镀膜技术的微观复合,在溶液中得到超细CaSiO3导电粉.讨论了醛基溶液浓度、溶液pH值对导电粉性能的影响,确定了导电粉制备的工艺条件为:n(CaSiO3粉