论文部分内容阅读
从高分子辐射化学的角度分析了电子束曝光的实际反应机理,推导得出曝光辐射剂量与辐射降解程度间的关系,提出了重复增量扫描方式的电子束微三维加工方法.通过在SDS-3型电子束曝光机上对正性抗蚀剂PMMA进行曝光实验,显影后得到轮廓清晰的三维结构,验证了该方法的可行性.
电子束重复增量扫描曝光方式的反应机理研究
【摘 要】
：
从高分子辐射化学的角度分析了电子束曝光的实际反应机理,推导得出曝光辐射剂量与辐射降解程度间的关系,提出了重复增量扫描方式的电子束微三维加工方法.通过在SDS-3型电子束
【机 构】
：
山东大学
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
2006年5期
【基金项目】
：
国家自然科学基金重大研究计划资助项目(90307003),国家自然科学基金资助项目(10572078),山东省自然科学基金资助项目(Y2003G03),山东省科技攻关计划基金资助项目(022090105)
其他文献
用磁控溅射交替沉积和退火的方法制备了不同Co含量的ZnO纳米颗粒薄膜Zn1-xCoxO,并研究了其磁特性.发现室温下的比饱和磁矩随Co含量x(体积比)的减小而单调下降,矫顽力在x=0.5
首先用电火花技术制作出不锈钢基座和悬臂梁，然后利用PDMS良好的柔性、弹性、复制分辨率以及良好的透气性能制作了过渡模版，通过二次复制的图形转移技术，制作了聚合物微悬臂梁。
对溅射沉积制成的氧化锡薄膜进行了钨离子注入、氧离子注入和退火处理,并用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)分析了薄膜,研究了注入对薄膜相变的影响.发现在室温下溅射
设计了一种基于SOI技术的压阻式抗冲击微加速度计,解决了电阻在高温时产生漏电流问题,有效扩展了其温度应用范围。设计方案合理应用光刻I、CP刻蚀等先进技术使其工艺得到实现
通过实验观察了痕量梯恩梯的爆燃现象及其规律,并在此基础上设计了一种集成有加热元件和检测元件的高灵敏度硅梁结构.有限元仿真结果表明,该硅梁升温迅速且温度分布均匀,能实
介绍了分子动力学模拟的基本原理,并对国内外采用其研究金属、半导体、有机体等材料的激光蚀除机制的现状以及所涉及的关键技术进行了详尽的综述,最后指出了分子动力学模拟激
为了使离子注入机满足生产线工艺的要求,控制系统的设计必须使控制功能完善、控制命令响应迅速、命令执行准确可靠、异常处理迅速有效和整机工作稳定可靠.LC19离子注入机控制
采用射频磁控溅射与微细加工技术,制得Cu/BST/Pt/Ti/SiO2/Si的MIM(金属-绝缘体-金属)微电容结构.研究了不同退火时间、薄膜厚度对钛酸锶钡(BST)纳米薄膜介电常数和漏电流密度