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期刊论文
半导体设备异常处理机制方法的研究
半导体设备异常处理机制方法的研究
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mmyxj
【摘 要】
:
针对半导体设备自动化水平的不断提高,设计一种多线程多等级划分的异常处理机制,并根据设备自身特性,灵活采用软硬件结合或软件异常处理方式去处理设备的异常。
【作 者】
:
宫晨
宋丽娟
刘玉倩
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2011年10期
【关键词】
:
半导体设备
多线程
多等级
异常处理
Semiconductor Equipment
Multithreading
Hierarchical
Except
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针对半导体设备自动化水平的不断提高,设计一种多线程多等级划分的异常处理机制,并根据设备自身特性,灵活采用软硬件结合或软件异常处理方式去处理设备的异常。
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