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针对半导体封装设备精确识别晶圆对位标记的需求,研究了两类基于机器视觉的模板匹配算法,包括基于区域相关和基于特征的匹配算法。实验对这两类模板匹配算法进行了比较和分析,并得出了各类算法的使用条件和优缺点。
用于晶圆对位标记识别的模板匹配算法研究
【摘 要】
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针对半导体封装设备精确识别晶圆对位标记的需求,研究了两类基于机器视觉的模板匹配算法,包括基于区域相关和基于特征的匹配算法。实验对这两类模板匹配算法进行了比较和分析,并得出了各类算法的使用条件和优缺点。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2020年01期
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