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微操作器是微操作机器人的关键部件,本文基于压电扫描器的工作原理,研制出压电陶瓷管驱动的三自由度微操作器,通过对四分压电陶瓷管的变形进行静力学分析,建立了微操作器微位移量与驱动电压的关系模型.研制出微位移检测电路,实现了微操作器机构、驱动、检测的集成化,设计了微位移闭环控制实验系统,对微操作器进行了静态、动态测试,得到了微操作器的主要性能指标.实验表明,所研制的微操作器能够满足微纳米定位精度的微操作需要.