【摘 要】
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作为典型的第三代半导体材料,氧化锌因其自身独有的电学、光学记忆性能被广泛地应用于导电记忆元件、激光系统以及集成电路中,以此在满足各企业作业需求的基础上,也为预期发
【机 构】
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国家知识产权局专利局通信发明审查部
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作为典型的第三代半导体材料,氧化锌因其自身独有的电学、光学记忆性能被广泛地应用于导电记忆元件、激光系统以及集成电路中,以此在满足各企业作业需求的基础上,也为预期发展目标的实现奠定了良好基础。鉴于此,本文主要基于氧化锌半导体材料的主要性能,对其制备方式进行了全面探析。
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