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精密加工和超精密加工是先进制造领域的重要方向之一．而精密微驱动技术，即微执行器技术是精密加亡和超精密加上实现的关键，有关微执行器的研究成为机械研究的热点之一。为此，将微执行器进行了简单分类，并对国内外有关微执行器的研究成果进行了介绍。
用于精密微驱动的微执行器研究
【摘 要】
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精密加工和超精密加工是先进制造领域的重要方向之一．而精密微驱动技术，即微执行器技术是精密加亡和超精密加上实现的关键，有关微执行器的研究成为机械研究的热点之一。为此，将微
【机 构】
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江苏大学机械学院
【出 处】
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农机化研究
【发表日期】
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2006年3期
其他文献
采用共沉淀法制备了新型SiO2TiO2-ZrO2载体，在固定床微反装置中，以含5％（w）噻吩的十二烷溶液为模型化合物，在氢分压为2～5MPa、反应温度为320～380℃、氢油体积比为500～800、体积空速为2～8