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研制的硅电容压力传感器芯体采用微机械加工技术,加工精度高,易于批量化生产。结构上采用对称的差动电容形式,并将其封装在专用基座中,适用于中、微压力的高精度测量,可用于目前通用压力传感器的升级产品。
硅电容压力传感器敏感器件的研究
【摘 要】
：
研制的硅电容压力传感器芯体采用微机械加工技术,加工精度高,易于批量化生产。结构上采用对称的差动电容形式,并将其封装在专用基座中,适用于中、微压力的高精度测量,可用于
【机 构】
：
沈阳仪表科学研究院; 吉林化工集团公司仪表厂; 沈阳仪表科学研究院 辽宁沈阳110043; 吉林吉林132022; 辽宁沈阳110043; 辽宁沈阳1
【出 处】
：
微纳电子技术
【发表日期】
：
2004年11期
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