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基于沿面放电设计了短间距的触发型真空弧放电装置，利用高速相机研究了触发真空弧放电特性，获得了不同放电时刻的放电图像。通过分析放电图像，发现主弧放电开始阶段，主弧电流主要为电子电流，而且在阳极附近观察到较强的离子电流。研究发现阴极斑的形成和等离子体的扩散是主间隙击穿的关键因素。初始阴极斑不仅为触发回路提供载流子，同时影响着主间隙的击穿。文章讨论了阴极表面离子鞘层对表面电场的影响，阴极表面场强可达107 V/m。同时本文讨论了背景气压对电极间隙放电延迟时间的影响。