【摘 要】
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水压层压机压力系统故障为易发故障,由于系统压力高,压力管道系统多采用硬管连接,发生故障后拆解检查具有一定困难,有时还会造成部分连接件的损坏,为了达到简化操作,无损判断
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十三研究所,中国电子科技集团公司第四十五研究所
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水压层压机压力系统故障为易发故障,由于系统压力高,压力管道系统多采用硬管连接,发生故障后拆解检查具有一定困难,有时还会造成部分连接件的损坏,为了达到简化操作,无损判断故障点的目的,提出了温度测量法,通过对不同位置管道壁温度的测量来判断水压层压机压力系统故障点,能够在不拆解或少拆解的情况下,对压力系统复杂故障进行快速无损定位。能在半导体设备维修行业中的水压层压机的维修中起到一定的指导作用,提高维修效率,减少误操作和拆解检查对设备造成的损伤,提高维修中维修人员的人身和设备本身的安全系数。
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