【摘 要】
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介绍美、日等国家竞争发展微机电系统的态势;指出微机电系统出现的历史意义及其优势;列举美国工业界和大学在该技术领域的科研活动;展望军民领域的应用前景。
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介绍美、日等国家竞争发展微机电系统的态势;指出微机电系统出现的历史意义及其优势;列举美国工业界和大学在该技术领域的科研活动;展望军民领域的应用前景。
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